Піч PECVD

1.Тип: двозонна система PECVD повзункового типу на 1200 градусів
2. Номер фази: Однофазний
3. Тип термопари: тип K
4. Модель: TOB-DSP-1200 ступінь -PECVD
5.MOQ: 1 набір

Послати повідомлення

Чат зараз

Введення продукту

Двозонна система PECVD повзункового типу на 1200 градусів

Специфікація

Модель	TOB-DSP-1200 ступінь -PECVD-I	TOB-DSP-1200 ступінь -PECVD-II		TOB-DSP-1200 ступінь -PECVD-III	TOB-DSP-1200 ступінь -PECVD-IV
потужність	3 кВт	3 кВт		4 кВт	4 кВт
Розмір труби печі (мм)	Діаметр 60(OD) X1800 мм	Діаметр 80 (OD) X1800 мм		Діаметр 100 (OD) X1800 мм	Діаметр 120(OD) X1800 мм
Розмір	1800X410X610	1800X410X610		1800X460X660	1800X460X660
Напруга живлення	220V
Номер фази	Однофазний
Режим контролю	Регулювання температури Юдіан 30 секцій можуть використовувати лише PID регулювання температури. Контроль температури FP93 (з Японії) (Заміна імпортних інструментів, за доплату) 1,40 секції програмного контролю температури можна розділити на 4,2,1 групову програму, якщо програму розділено на чотири групи, кожен програмний сегмент 10, 2,6 групи ПІД-контролю, низька, середня та висока температура можуть мати набір ПІД-регуляторів, щоб кожен сегмент міг дуже точно контролювати температуру.
Режим регулювання температури	Інтелектуальний PID
Захист від вигоряння і дисплей	Так
Захист від перегріву	Так
Захист від перевантаження по струму	Так
Точність контролю	+/- 1 градус
Тригер	Тригер фазового зсуву
SCR	106 / 16E Німеччина Сімон Канг
Максимальна температура в температурній зоні 1,2	1200 градусів
Температурна зона 1,2 Номінальна температура	1150 градусів
Швидкість нагріву	Менше або дорівнює 30 градусам/мін (доступно за запитом модифікації)
Рекомендована швидкість нагріву	Менше або дорівнює 15 градусам/мін
Тип термопари	Тип К
Довжина нагріву температурної зони 1,2	205 мм
Температура навколишньої поверхні	Менше або дорівнює 45 градусам
Радіочастотна потужність плазми	Діапазон вихідної потужності		0-500W
	Максимальна відбита потужність		10W
	Частота сигналу		13,56 МГц ± 0,005%
	Шум		<30 dB
	Повітряне охолодження		метод охолодження
	Вхідна потужність		208-240V 50 / 60 Гц
Основні параметри системи живлення GX	Стандартний діапазон		Контролер потоку Proton 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM (можна вибрати будь-який масштаб)
	Точність		± 1.5%
	Перепад тиску		<0.01MPa
	Повторюваність		± 0.2% F.S
	Макс Робочий тиск		3 Мп
Вихлопна система VS-0.1	живлення		220V / 380V 380W
	Швидкість накачування		2L / S
	Вакуумметр опору		ЗДР-І
	Діапазон вимірювання вакууму		0.1-10 5 Па
	Вакуумний насос		VRD-8
	Гофрована труба		KF25X1000 мм
	Вакуумна система		10 -1Па